Kontrol suhu lan kelembapan otomatis
Suhu lan asor kamar sing resik utamane ditemtokake miturut syarat proses, nanging miturut syarat proses kasebut, kenyamanan manungsa kudu dianggep.Kanthi nambah syarat kebersihan udara, ana tren manawa proses kasebut duwe syarat sing luwih ketat babagan suhu lan kelembapan.
Amarga akurasi mesin saya tambah apik, syarat kanggo sawetara fluktuasi suhu saya sithik.Contone, ing proses eksposur litografi produksi sirkuit terpadu skala gedhe, prabédan antarane koefisien ekspansi termal kaca lan wafer silikon minangka bahan diafragma kudu luwih cilik lan luwih cilik.Wafer silikon kanthi diameter 100μm bakal nyebabake ekspansi linier 0,24μm nalika suhu mundhak 1 derajat.Mulane, kudu duwe suhu konstan ± 0,1 derajat.Ing wektu sing padha, nilai kelembapan umume kudu kurang, amarga sawise wong kringet, produk kasebut bakal najis, utamane Kanggo bengkel semikonduktor sing wedi karo sodium, bengkel sing resik iki ora kudu ngluwihi 25 derajat.
Kelembapan sing berlebihan nyebabake masalah liyane.Nalika kelembapan relatif ngluwihi 55%, kondensasi bakal kedadeyan ing tembok pipa banyu sing adhem.Yen kedadeyan ing piranti utawa sirkuit sing presisi, bakal nyebabake macem-macem kacilakan.Gampang teyeng nalika kelembapan relatif 50%.Kajaba iku, nalika asor dhuwur banget, bledug ing lumahing wafer silikon bakal kimia adsorbed dening molekul banyu ing udhara kanggo lumahing, kang angel kanggo mbusak.Sing luwih dhuwur asor relatif, luwih angel kanggo mbusak adhesion, nanging nalika asor relatif luwih murah tinimbang 30%, partikel uga gampang adsorbed ing lumahing amarga tumindak pasukan elektrostatik, lan nomer akeh semikonduktor. piranti rentan kanggo risak.Kisaran suhu paling apik kanggo produksi wafer silikon yaiku 35 ~ 45%.
