Sistem banyu cooling proses kasusun saka bagean ing ngisor iki: chillers, pumps, exchanger panas, tank banyu, saringan, lan peralatan proses.
Chiller banyu: Nyedhiyani sumber kadhemen kanggo cooling sistem banyu.
Pompa banyu: tekanan banyu kanggo njamin sirkulasi ing sistem pendinginan.
Penukar panas: Gunakake peralatan iki kanggo ngganti panas antarane sistem banyu adhem lan sistem banyu adhem kanggo mindhah panas sing diasilake ing mburi beban sistem menyang sistem banyu adhem.Ana akeh jinis penukar panas, sing bisa dipérang dadi jinis cangkang-lan-tabung, jinis piring, jinis plate-fin, jinis pipa panas, lan liya-liyane miturut wujude.Ing comparison, exchanger panas piring duwe kaluwihan saka tilas cilik lan area transfer panas gedhe.Ngelingi karakteristik biaya saka papan lan area|pabrik semikonduktor, peralatan karo tilas cilik luwih disenengi kanggo ngirit area tanah lan biaya engineering.
Tangki banyu: Tangki banyu ing sistem mbukak utamane nduweni peran kanggo nambah sumber banyu.Tangki banyu ing sistem tertutup kudu milih tangki banyu ekspansi.Tangki banyu ekspansi nduweni telung fungsi.Salah sijine yaiku ngemot lan ngimbangi ekspansi lan kontraksi banyu ing sistem;liyane kanggo nyedhiyani meksa stabil kanggo sistem banyu sirkulasi tertutup lan muter peran ing stabil sistem;Katelu minangka indikasi pompa banyu sistem, biasane tangki ekspansi ngirim sinyal kanggo miwiti utawa mateni pompa banyu sistem.
saringan: nyaring partikel padhetAna rong sistem sing relatif independen ing sistem banyu pendinginan proses, banyu adhem lan banyu adhem.Banyu sing adhem disedhiyakake dening chiller, lan banyu sing adhem lan banyu sing adhem ngganti panas kanggo kelangan banyu sing adhem lan nyuda suhu peralatan.Banyu dipompa saka peralatan produksi liwat pompa banyu menyang exchanger panas kanggo mesthekake suhu proses cooling banyu dening Ngontrol jumlah banyu chilled, lan banjur dikirim menyang peralatan baris produksi sawise maringaken Filter, lan banjur bali menyang pompa banyu.Proses pambentukan banyu pendinginan bola-bali sirkulasi.Banyu sing adhem langsung bali menyang chiller.